本报讯 记者冯家园、通讯员饶琳报道：昨日获悉，科技部批准了我市晶星科技承担的电子级二氯二氢硅生产及检测技术合作研发项目。该项目将二氯二氢硅的提纯纯度提高到99.999%，打破国外技术壁垒，达到国际先进水平。
　　　　二氯二氢硅是多晶硅生产中产生的副产物，也是半导体集成电路市场的主材料。由于我国过去尚未掌握其提纯等核心技术，导致电子级二氯二氢硅全部依赖进口，受到国外制约。国内现有的提纯工艺处理纯度只能达到99.9%。
　　　　我市晶星科技公司在生产多晶硅中不断探索，积极申报承担二氯二氢硅的提纯研发。晶星科技联合德国林德公司，采取特殊精馏法提出技术、微波等离子反应技术等，改造工艺和装备，提纯出电子级二氯二氢硅，纯度达到99.999%（俗称5个9），并形成有自主知识产权的电子级二氯二氢硅生产与检测技术工艺软件包，打破国外垄断，推动了我国半导体硅材料科技进步。
　　　　项目研发总投资4800多万元。目前5个9的高纯度二氯二氢硅样品已提出，工艺流程已掌握。这项工艺的生产成本比国外同类产品低32%，可推广和应用在国内硅材料行业，促进电子级二氯二氢硅的规模化、产业化生产。
　　　　据悉，我国电子半导体、集成电路制造时消耗电子级二氯二氢硅约为1200吨/年。晶星科技在项目研发成熟后，将按500吨/年的规模建设生产线，投产后可实现销售收入7500万元，利润率达到40%。相比国外提纯工艺，晶星科技的工艺更加简化，产品质量稳定，完全可以替代进口产品，且成本比传统提纯技术低4万元/吨。
　　　　电子级二氯二氢硅提纯成功，将加快我国电子半导体和集成电路工业硅材料的国产化进程，提高国内产品在国际市场上的影响力和竞争力。同时，也减少了多晶硅生产中二氯二氢硅处理给环境带来的影响，更加环保。